01实验概述与目的

本文研究了 OK73稀释液在通过Nylon 6,6过滤器时，金属杂质去除效率的变化，探讨流速对去除效率的影响，并评估过滤装置的效果。通过改变溶液的流速，并利用安捷伦7700s ICP-MS设备测定进料与出料中的金属杂质浓度，我们评估了过滤装置的金属去除效率。实验发现，部分金属的去除效率会随着流速的增加而降低，而另一些金属则不受影响。为了确保批量过滤后金属杂质浓度保持较低水平，我们建议采用较慢的流速。同时，我们还利用TXRF技术分析了涂覆在300 mm Si晶圆上的稀释液中的金属杂质表面分布，证实了Nylon 6,6过滤器材能有效去除这些金属杂质。

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