01UV LED衬底材料概述

衬底材料的选择对UV LED的外延质量产生深远影响。在众多材料中，蓝宝石因其与UV LED晶体结构相似、晶格失配度小以及热膨胀系数相近等特点，常被选作其衬底。在探讨UV LED衬底材料的选择时，我们不仅限于蓝宝石，还可以考虑其他几种材料，如氧化铝（Al2O3）、硅（Si）、氮化铝（AlN）、碳化硅（6H-SiC）以及氮化镓（GaN）。

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