亚纳米级“雕刻术”：电子束曝光全解析 01从光刻到电子束：一场微纳世界的革命当芯片节点逼近 5 nm，传统光学光刻的衍射极限像一道看不见的墙，把人类对更小尺寸的渴望挡在门外。电子束曝光（e-beam...
