怡心湖

EUV与DUV光刻技术的本质区别

EUV与DUV光刻机的核心差异在于13.5nm与193nm的光源波长,前者突破制程极限但成本高昂,后者通过浸没式技术实现经济高效的精密加工。未来二者将互补共存,...